半自動探針臺 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 半自動探針臺 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -半導體器件參數(shù)測量儀 采購需求概況 ： 采購標的名稱：半自動探針臺 主要功能： 研究先進工藝及器件特性，驗證工藝設計及建模平臺，滿足極端復雜測試要求。 采購標的數(shù)量：臺 質量要求： 、英寸并向下兼容； 、支持變溫自動測試和低噪量測； 、支持半自動-/-, 和測量； 、要求重復性好，超低泄漏和低噪聲； 、熱致漂移可以自動校正； 、快速提供各種精確的模型參數(shù)； 服務、安全、時限等要求： 提供設備驗收合格后年質保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。