英寸晶圓兆聲清洗機
項目所在采購意向:
中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向
采購單位:
中國科學院微電子研究所
采購項目名稱:
英寸晶圓兆聲清洗機
預算金額:
.萬元(人民幣)
采購品目:
-電子工業(yè)生產(chǎn)設備
采購需求概況 :
采購標的名稱:英寸晶圓兆聲清洗機。采購標的主要功能:針對小尺寸用于拋光后及刻蝕后晶圓的刷洗工藝。主要目標:粒徑>. 的顆粒去除率 &;%; 碎片率 <‰; 劃痕率<‰ 。采購數(shù)量:臺 。采購標的所需質(zhì)量:針對英寸晶圓內(nèi)以下小孔顆粒去除率大于等于%,并且重復性好。服務、安全、時限要求:提供設備驗收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。
預計采購時間:
-
備注:
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
發(fā)布媒體:
建設工程招標網(wǎng)(http://m.faw-nx.cn/)
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