英寸晶圓兆聲清洗機 項目所在采購意向: 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位: 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱: 英寸晶圓兆聲清洗機 預算金額: .萬元(人民幣) 采購品目: -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 : 采購標的名稱:英寸晶圓兆聲清洗機。采購標的主要功能:針對小尺寸用于拋光后及刻蝕后晶圓的刷洗工藝。主要目標:粒徑>. 的顆粒去除率 &;%; 碎片率 <‰; 劃痕率<‰ 。采購數(shù)量:臺 。采購標的所需質(zhì)量:針對英寸晶圓內(nèi)以下小孔顆粒去除率大于等于%,并且重復性好。服務、安全、時限要求:提供設備驗收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預計采購時間: - 備注: 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
快捷閱讀