刻蝕機(jī) 項(xiàng)目所在采購意向： 復(fù)旦大學(xué)年至月政府采購意向 采購單位： 復(fù)旦大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 刻蝕機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 反應(yīng)離子蝕刻 ()是一種制造微觀和納米結(jié)構(gòu)的等離子體蝕刻技術(shù)。 在蝕刻過程中，樣品表面與低壓等離子體產(chǎn)生的高能離子/自由基相互作用形成揮發(fā)性化合物。 揮發(fā)性化合物從樣品表面被去除，并實(shí)現(xiàn)了各向同性或各異性輪廓。通過優(yōu)化干式蝕刻配方（腔體壓力、射頻功率、氣體流量比），可以使用蝕刻技術(shù)蝕刻各種類型的材料。本項(xiàng)目根據(jù)科研需求計劃采購一臺刻蝕機(jī)。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。