薄膜粉體磁控濺射設備 項目所在采購意向： 浙江大學年至月政府采購意向 采購單位： 浙江大學 采購項目名稱： 薄膜粉體磁控濺射設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電氣物理設備 采購需求概況 ： 擬采購一套薄膜粉體磁控濺射設備 )最大適用于寸晶圓且向下兼容小尺寸；)配備預進樣室，具備一鍵送樣，可以一次傳送片寸晶圓，且兼容高度不低于樣品；配獨立分子泵，抽速不低于/；)濺射方式采用向下濺射,腔體尺寸不小于”””（）；)低溫泵抽速不低于/,干泵抽速不低于/)設備為集裝式，帶六只腳輪，可固定可移動；)不少于路，配所有所需得真空測量系統(tǒng)；)工件臺為直徑英寸射頻偏壓工件臺，與靶槍共用一套電源，轉速-可調；)工件盤最高加熱溫度度，非燈絲加熱，溫度均勻性±%；)樣品臺和靶槍具體可調，調整范圍不小于;)配備個英寸圓形共焦濺射靶槍，靶槍角度-°可調；)配備一套直流電源，功率不低于,可以切換至個靶槍；采購設備需滿足相應設備技術參數(shù)中的各項指標，產(chǎn)品質量達到設計要求，安裝調試各項指標符合招標技術參數(shù)，其售后服務應滿足：（）不論質保期內外，賣方應當提供*小時電話支持服務；（）質保期內因產(chǎn)品質量出現(xiàn)問題，買方有權要求賣方予以無條件維修、更換或退貨；（）質保期內所有的配件和人工費用由廠家承擔；（）廠商應及時免費提供合同貨物軟件的升級，免費提供合同貨物新功能和應用的資料；（）質保期屆滿后，賣方仍對本合同項下貨物提供有償服務，且維修時只收取所需維修部件的市場成本價費用，服務內容應與質保期內的要求相一致。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具....