為便于供應商及時了解政府采購信息, 根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》 (財庫〔〕號)等有關規(guī)定,現將南京理工大學年政府采購意向公開(第批)政府采購意向公開如下:
序號
采購項目名稱
意向編號
采購品目
采購需求概況
預算金額(萬元)
預計采購日期
備注
高功率非晶態(tài)材料沉積系統(tǒng)
真空應用設備
設備主要參數要求:主要技術指標:極限真空度≤- ;分子泵抽氣速率≥ /;真空漏率≤- ?/;靶材尺寸和數量:英寸、只;濺射功率:直流電源數量臺、功率≥,射頻電源數量臺、功率≥,要求搭載負偏壓;樣品臺可加熱溫度:-℃,控溫精度≤ 度,可在-轉/分連續(xù)可調;控制精度:薄膜均勻性優(yōu)于±%;系統(tǒng)需配有薄膜厚度實時監(jiān)測儀和三路流量控制計,可通氬、氧、氮三路氣體。
年月
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
南京理工大學招標辦公室
年月日
發(fā)布媒體:
建設工程招標網(http://m.faw-nx.cn/)
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