為便于供應商及時了解政府采購信息, 根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》 (財庫〔〕號)等有關規(guī)定,現將南京理工大學年政府采購意向公開(第批)政府采購意向公開如下: 序號 采購項目名稱 意向編號 采購品目 采購需求概況 預算金額(萬元) 預計采購日期 備注 高功率非晶態(tài)材料沉積系統(tǒng) 真空應用設備 設備主要參數要求:主要技術指標:極限真空度≤- ;分子泵抽氣速率≥ /;真空漏率≤- ?/;靶材尺寸和數量:英寸、只;濺射功率:直流電源數量臺、功率≥,射頻電源數量臺、功率≥,要求搭載負偏壓;樣品臺可加熱溫度:-℃,控溫精度≤ 度,可在-轉/分連續(xù)可調;控制精度:薄膜均勻性優(yōu)于±%;系統(tǒng)需配有薄膜厚度實時監(jiān)測儀和三路流量控制計,可通氬、氧、氮三路氣體。 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。 南京理工大學招標辦公室 年月日
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