干法刻蝕工藝交互式系統(tǒng) 項目所在采購意向： 大連理工大學年月政府采購意向 采購單位： 大連理工大學 采購項目名稱： 干法刻蝕工藝交互式系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應用設備 采購需求概況 ： 干法刻蝕工藝交互式系統(tǒng)，包括感應耦合等離子體刻蝕原理機臺和感應耦合等離子體刻蝕工藝設備臺，以及正常使用所需外圍條件。感應耦合等離子體刻蝕原理機應包括：晶圓傳輸腔、射頻腔、軟件控制系統(tǒng)、安全模塊；反應腔配備真空仿真管道系統(tǒng)，射頻電源仿真模型；真空系統(tǒng)配備工業(yè)機械真空泵、皮拉尼真空規(guī)、電磁閥、放氣閥；軟件部分配備控制軟件，可視化圖形操作界面,能夠模擬系統(tǒng)實時狀態(tài)參數(shù)的顯示；配有虛擬現(xiàn)實模塊，包含自動和手動拆解功能，可還原設備外觀和使用環(huán)境。感應耦合等離子體刻蝕工藝設備，主要參數(shù)應滿足：真空室尺寸不小于Φ×，可放置英寸樣片片或小尺寸散片多片；極限真空度：≤×-，泵體具有耐腐蝕性；刻蝕不均勻性：≤±％；刻蝕距離調節(jié)范圍：-，自動調節(jié)，調節(jié)精度；六路進氣（耐腐蝕），流量控制涵蓋，，擋位；功率-可調，基座功率不低于。提供運輸、安裝和售后服務。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。