多功能薄膜集成原子層沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院金屬研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院金屬研究所 采購項(xiàng)目名稱： 多功能薄膜集成原子層沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 金屬表面處理設(shè)備 采購需求概況 ： 本設(shè)備主要用于制備多種功能類型的薄膜材料體系，利用具有較高集成度的原子層沉積工藝，制備高精度、高均勻性、高質(zhì)量的先進(jìn)薄膜材料，覆蓋導(dǎo)體、絕緣體及半導(dǎo)體，包括單質(zhì)、氧化物、氮化物、二維材料等復(fù)雜材料體系，開發(fā)前沿性的功能薄膜材料并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定制備。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。