原子層沉積設(shè)備 項(xiàng)目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項(xiàng)目名稱： 原子層沉積設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電氣物理設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標(biāo)的物名稱：原子層沉積設(shè)備； 采購數(shù)量：臺； 采購標(biāo)的物要求：主要用于致密、均勻、厚度原子層可控絕緣介質(zhì)層和導(dǎo)點(diǎn)層沉積。具備熱法沉積和等離子體增強(qiáng)沉積兩種方式，可以實(shí)現(xiàn)氧化鋁、氧化硅、氧化鉿等介質(zhì)層材料的沉積及、等導(dǎo)電材料的沉積，具備至少兩個工藝腔室，厚度表面粗糙度小于.，最大尺寸達(dá)到英寸，片內(nèi)厚度均勻性＜%。貨期：從合同簽訂在個月內(nèi)交貨；保修期:年，提供現(xiàn)場技術(shù)咨詢，提供免費(fèi)培訓(xùn)，保內(nèi)維修承諾: 免費(fèi)更換配件，報修承諾: 小時。 預(yù)計(jì)采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。