真空團簇腔體 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 真空團簇腔體 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空獲得設備 采購需求概況 ： 采購標的物名稱：真空團簇腔體； 采購數(shù)量：套； 采購標的物要求：兼容英寸及以下晶圓，真空度達到-量級，真空檢漏漏率：小于×-./機械手伸長的最長距離為毫米，定位精度達到.毫米。團簇超高真空腔室、團簇系統(tǒng)與工作站設備對接系統(tǒng)、團簇控制系統(tǒng)，確保樣品能夠在不同表征設備之間無縫傳輸，避免因樣品轉換而導致的性能損失。貨期個月，提供現(xiàn)場培訓，保質年；保期內承諾提供免費人工與部件，小時響應。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。