多層溝道工藝加工晶圓 項目所在采購意向： 華中科技大學年至月政府采購意向 采購單位： 華中科技大學 采購項目名稱： 多層溝道工藝加工晶圓 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子、通信與自動控制技術(shù)研究服務(wù) 采購需求概況 ： 為驗證新材料在能否兼容于 工藝流程，需要 的工藝代工。需要反復驗證開發(fā)工藝。 多層的溝道深孔工藝 . 提供設(shè)計晶圓，英寸。 . 按照要求加工，完成金屬柵和介質(zhì)的堆疊。 . 按照設(shè)計進行深孔刻蝕。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。