英寸晶圓
項目所在采購意向:
中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向
采購單位:
中國科學院微電子研究所
采購項目名稱:
英寸晶圓
預算金額:
.萬元(人民幣)
采購品目:
-電子工業(yè)生產(chǎn)設備
采購需求概況 :
采購標的名稱:英寸晶圓。采購標的主要功能:主要用于小尺寸 器件的及適配氧化物薄膜材料的生長。主要目標:薄膜片內(nèi)均勻性小于%;薄膜片間均勻性小于%;晶圓尺寸: 。采購數(shù)量:臺 。采購標的所需質(zhì)量:英寸片內(nèi)生長薄膜均一性、可靠性高,片間薄膜生長厚度重復性好。設備兼容熱法和射頻兩種模式生長。服務、安全、時限要求:提供設備驗收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。
預計采購時間:
-
備注:
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。
發(fā)布媒體:
建設工程招標網(wǎng)(http://m.faw-nx.cn/)
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